реферат, рефераты скачать Информационно-образоательный портал
Рефераты, курсовые, дипломы, научные работы,
реферат, рефераты скачать
реферат, рефераты скачать
МЕНЮ|
реферат, рефераты скачать
поиск
Сборка полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Сборка полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Приложения

Рис. 3. Схема сборки веерного типа

Рис. 4. Схема сборки с базовой деталью

Рис. 5. Схема сборки (а) и разрез ИС (б) в круглом корпусе:

1(балон; 2(соединительные проводники; 3(кристалл; 4(контактные площадки;

5(припой; 6(колпачёк ножки; 7(стекло; 8(выводы; 9(спай выводов со стеклом;

10(соединение электроконтактной сваркой баллона и ножки;

11(металлизационный слой (шина)

Рис. 6. Схема соединения (сборки) кристалла с шариковыми выводами и

подложки пайкой:

1(кристалл; 2(контактная площадка; 3(стекло; 4(шарик медный; 5(медная

подушка; 6(припой (высокотемпературный); 7(припой (низкотемпературный);

8(вывод из сплава AgPb; 9(подложка.

Рис. 7. Схема соединения (сборки) кристалла с балочными выводами и подложки

пайкой:

1(золотой балочный вывод; 2(силицид пластины; 3(кристалл; 4(нитрид кремния;

5(платина; 6(титан; 7(подложка; 8(золотая контактная площадка.

Рис. 8. Схема линии сборки интегральных схем

На линии сборки используют трансферные ленты. Сборка и транспортировка

осуществляются на коваровой ленте, которую на участках Л и Б подвергают

фотолитографии для получения выводов 2 (рис. 10, а). На участках В, Г и Д

на базе ленты с выводными рамками изготавливают корпуса приборов с

золочеными выводами. Отрезки ленты с корпусами поступают на сборку. Лента

2, сматываясь с катушки 1, подвергается промывке и обезжириванию в ванне 3

и нанесению фоторезиста в ванне 4, экспонированию в установке 5 с помощью

ультрафиолетовой лампы 7. Роль маски в установке выполняет непрерывно

движущаяся синхронно с лентой 2 лента 6. Затем ленты промывают в ваннах 8 и

9. Выводы рамки 2 (рис. 10, а) и перфорационные отверстия вытравливают в

ванне 10. Слой фоторезиста удаляют в ванне 11, и на выходе ленту сушат.

Полученные перфорационные отверстия используют для натяжения и перемещения

ленты с помощью звездочки 12. В установке 13 на коваровую ленту с выводами

приклеивают с двух сторон трансферную ленту со слоем припоечного стекла.

Полученная система обжигается, адгезивный слой выгорает, а стекло

спаивается с металлом основной ленты (рис. 10, б). Охлаждение до комнатной

температуры производят в камере 14. С помощью устройства 15 на стеклянные

слои приклеивают маскирующие ленты с окнами, через которые в ванне 16

осуществляют вытравливание полостей до обнаружения внутренних выводов (рис.

10, е).

Полученные таким образом из металлической и стеклянных лент корпусные

блоки подают в ванну 17 для золочения выводов. На устройстве 18 лента

режется на отрезки с корпусами, которые по конвейеру 19 подаются на сборку.

Кристалл с готовыми структурами методом перевернутого монтажа лицевой

стороной вниз с помощью шариковых выступов присоединяют к системе выводов

внутри полученного корпуса (рис. 10, г). Герметизацию корпуса в защитной

среде производят отрезками коваровой ленты 7, которые припаивают к

основанию с помощью стекла, нагреваемого инструментом (рис. 10, д).

Полученная микросхема представлена на рис. 10, е

Рис. 9. Трансферная лента:

1(несущий слой; 2(трансферный слой; 3(адгезивный слой; 4(антиадгезивная

бумага

Рис. 10. Схема автоматизированной сборки ИС на ленте:

1(лента-носитель; 2( выводы (после травления); 3( перфорация для

перемещения ленты; 4(стеклянная лента-припой; 5(полость корпуса ИС;

6(кристалл с готовыми структурами; 7 ( корпус; 8(крышка; 9(нагревательный

инструмент

-----------------------

[pic]



© 2003-2013
Рефераты бесплатно, рефераты литература, курсовые работы, реферат, доклады, рефераты медицина, рефераты на тему, сочинения, реферат бесплатно, рефераты авиация, курсовые, рефераты биология, большая бибилиотека рефератов, дипломы, научные работы, рефераты право, рефераты, рефераты скачать, рефераты психология, рефераты математика, рефераты кулинария, рефераты логистика, рефераты анатомия, рефераты маркетинг, рефераты релиния, рефераты социология, рефераты менеджемент.